空気中イオン密度測定器
マイクロプラズマイオン化素子とは
フラット電極＜マイクロプラズマイオン化素子＞
従来の静電気除去器は針先からの放電＝いわゆる点放電ですが、（独）産業技術総合研究所と共同開発したフラット電極は、面放電のため低電圧で高密度のイオンを発生させることが可能です。
メンテナンス回数減少&ランニングコスト低減
フラット電極は低電圧でイオンを発生させているため、針形状の電極に比べて静電吸着による汚れの付着が極端に少なくなります。このため、従来必要とされたクリーニングがほとんど必要なく、約1/40にランニングコストの低減が可能となります。（当社従来品比）
電極部拡大写真
プラズマ発生時の様子
フラット電極（マイクロプラズマイオン化素子）とは、誘電体とその表面に形成した鋸状の微細電極によって構成されており、プラズマ発生ポイントを高密度に有することから、高濃度のイオンを素子全面にわたって効率よく均一に発生させることができます。
従来の針状の電極を備えた静電気除去器（コロナ放電方式）が、針先端部の電解が集中した『点』からイオンを放出するのに対し、フラット電極は形状が平坦なため素子全面から『面』状にイオンを放出しています。
フラット電極は微細加工技術によって製造しているため、様々な長さ、形状にすることができます。
FDシリーズの電極として、基板に貼り付けたり、丸いリング状にしたり、ファンタイプやバータイプの製品の特性に合わせて加工を行っています。
将来的には薄さ、柔軟性を活かした、上図の様な省スペース電極の開発も視野に入れています。
メンテナンス性
コロナ放電式の静電気除去器は、電極に高電圧を印加しているため、電極先端部に強い『電界』が発生しています。
この『電界』の広がりによって、周囲の空気中に漂う塵・埃・繊維クズ等が電極先端部に引き寄せられ、付着堆積するという現象が起こります。 また、空気中の水分の影響から白色の折出物が発生し、塵埃と同様に電極先端部に堆積することがあります。 異物の付着した電極はアルコール等を浸み込ませた綿棒などを用いて清掃することができますが、 一週間から二週間程度に一度、定期的に清掃作業を行わなければ除電能力が低下してしまいます。
フラット電極は、1000〜1500V程度の低い印加電圧でイオンを発生させることができるため、『電界』の広がりが小さくなります。
そのため、針状の電極で問題とされている電界集中による異物の付着が少なく、長期間安定した除電能力を維持することが可能です。
また、電極部にヒータを内蔵することにより、空気中の水分の影響から生じる白色の析出物の発生を抑えています。
従来品との比較
| 従来技術 | 本技術 | ||
|---|---|---|---|
| 電極 | 構造 | 針型 | 素子 |
| 印加電圧 | △高電圧（4KV 以上） | ○低電圧（1〜4KV） | |
| メンテナンス | ×電極の汚れ、磨耗 | ○汚れ、磨耗が少ない | |
| イオン発生 | △低濃度 | ○高濃度 | |
| 装置 | イオンバランス | △ずれやすい | ○長期安定 |
| 除電能力 | △低下していく | ○長期安定 | |
